特徴
・6,8,12インチのウエハに対応可能な全自動ウエハマーカー
・通常のマーキングに加えて、パーティクルレスなソフトマーキングが可能
・裏面印字、IDリーダー、オンライン通信機能(SECS/GEM)など豊富なオプション

ウエハIDマーキング装置

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特徴
・ダイシングフレーム上のウエハにグルービング加工を行います
・レーザーグルービングに最適な発振器と、ビーム整形を行い高品質な加工を実現
・保護膜の塗布、レーザーグルービング、洗浄までの工程を一台で全自動完結

ウエハグルービング装置

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特徴
・UVレーザーを利用したウエハスクライブに特化した専用装置
・保護膜の成膜、洗浄、スクライブ後のブレーキングなどオプション多数
・8inchまでのウエハに対応

ウエハスクライブ装置

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